1、MEMS麥克風(fēng)芯片檢測(cè)行業(yè)現(xiàn)狀
——圖片引用自麥姆斯咨詢報(bào)告
2、光場(chǎng)技術(shù)原理
簡(jiǎn)單的說(shuō),空間光線的集合就是光場(chǎng),我們無(wú)時(shí)無(wú)刻不處在光場(chǎng)的包圍之中。完整描述光場(chǎng)需要七個(gè)參數(shù),光線的位置(x,y,z),方向(θ,Ф),波長(zhǎng)(λ)和時(shí)間(t)。當(dāng)光場(chǎng)在空氣這種透明介質(zhì)中傳播時(shí),可以通過(guò)光線與兩個(gè)平行平面相交所形成兩點(diǎn)的位置,來(lái)準(zhǔn)確的確定其空間位置。光場(chǎng)相機(jī)主透鏡和微透鏡就相當(dāng)于兩個(gè)平行平面,一根線條通過(guò)兩個(gè)透鏡的折射后就記錄了線的強(qiáng)度,位置和方向信息。
——圖片引用自 “李浩天等 2018. 基于光場(chǎng)三維重構(gòu)和PSP的曲面壓力測(cè)量技術(shù)”
VOMMA光場(chǎng)相機(jī)采用超高分辨率的微透鏡與CMOS組合,其密集排列的微透鏡類似于蜻蜓的復(fù)眼,可以將來(lái)自物體各個(gè)方向的光折射到不同的像素,從而記錄通過(guò)主透鏡的所有三維光線。通過(guò)后期軟件處理對(duì)光線進(jìn)行重新追跡,可以自由改變對(duì)焦平面、任意視角切換和三維成像。因此,單臺(tái)VOMMA光場(chǎng)相機(jī)可實(shí)現(xiàn)多臺(tái)傳統(tǒng)相機(jī)環(huán)繞拍攝的成像效果,即“單相機(jī)、一次拍攝、多重聚焦、多重視角、三維測(cè)量/建模”。
蜻蜓復(fù)眼
VOMMA光場(chǎng)相機(jī)剖面圖
一次拍攝,多重聚焦
一次拍攝,多重視角
3、MEMS麥克風(fēng)芯片檢測(cè)難點(diǎn)
目前大部分MEMS麥克風(fēng)芯片金線檢測(cè)采用的是人眼顯微鏡觀測(cè)的2D檢測(cè)方案。2D檢測(cè)方案能解決漏焊,漏線,并線,斷線等問(wèn)題,但針對(duì)金線腳起,墮線等問(wèn)題沒(méi)有特別好的觀測(cè)效果,且人眼觀測(cè)效率低,導(dǎo)致芯片檢測(cè)的產(chǎn)能不穩(wěn)定。
傳統(tǒng)芯片金線檢測(cè)方式
4、奕目解決方案
VOMMA芯片檢測(cè)項(xiàng)目針對(duì)現(xiàn)有檢測(cè)難點(diǎn),依靠特有的光場(chǎng)三維成像技術(shù)支持,通過(guò)光場(chǎng)相機(jī)單次拍攝,輸出金線的三維輪廓數(shù)據(jù),高效準(zhǔn)確的判斷芯片金線良品情況,提出了能達(dá)到多視角,全方位的觀測(cè)效果的檢測(cè)方案。單次的金線檢測(cè)耗時(shí)僅為0.5s,大大提升了芯片檢測(cè)的速度和準(zhǔn)確率。
芯片金線三維輪廓數(shù)據(jù)
(VOMMA光場(chǎng)相機(jī)單次拍攝)
VOMMA光場(chǎng)相機(jī)芯片三維檢測(cè)系統(tǒng)圖
5、MEMS麥克風(fēng)芯片金線檢測(cè)效果展示
正常金線
漏線--金線缺失
斷線--金線斷裂
墮線--金線輪廓低于正常高度
腳起--金線輪廓超過(guò)正常高度